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    E6基础型手动探针台

    产品概要

    E6型手动探针台具有优异的机械系统,结构性能稳定,人体工程学式设计,操作更便捷,同时支持多功能升级,产品功能更丰富。该产品主要应用于集成电路,LED,LCD,太阳能电池等行业的制造以及研究领域。

    基本信息

    产品型号 E6 工作环境 开放式
    电力需求 220V,50~60Hz 操控方式 手动探针台
    产品尺寸 640mm长*700mm宽*730mm高 设备重量 约80KG

    应用方向

    LD/LED/PD的光强/波长测试、1微米以上电极/PAD测试、PCB/封装器件测试、材料/器件的IV/CV特性测试、器件的高频特性测试(最高至300GHZ频率)、射频测试等

    技术特点

    产品特点

    ●高性价比配置,价格经济实惠 ●人体工程学设计,操作便捷舒适 ●领先的内部防震系统装置,运行更稳定 ●兼容高倍率金相显微镜,可微调移动 ●精密丝杠传动结构,系统高精度运动 ●无回程差设计,定位精准 ●同轴驱动卡盘,移动精度高 ●支持加载升级

    E6经济型手动探针台
    晶圆测试探针台
    型号 E4 E6 E8 E12
    580mm*620mm*730mm 640mm*700mm*730mm 660mm*660mm*700mm 1030mm*820mm*730mm
    重量 约70KG 约80KG 约85KG 约180KG
    电力需求 220VC,50~60Hz
    样品台 尺寸 4英寸,可360度旋转 6英寸,可360度旋转 8英寸,可360度旋转 12英寸,可360度旋转
    X-Y行程 4英寸*4英寸 6英寸*6英寸 8英寸*8英寸 12英寸*12英寸
    Z轴行程 6mm(快速切换)/6mm(微调)
    移动精度 10um/1um
    样品固定方式 真空吸附
    背电极测试功能 有,样品台电学独立悬空
    针座平台 U型平台,最多可放置6个针座 U型平台,最多可放置8个针座 U型平台,最多可放置10个针座 U型平台,最多可放置12个针座
    光学特性 显微镜行程 X-Y轴行程2英寸*2英寸,Z轴:50.8mm
    显微镜移动精度 1um
    切换镜头方式 显微镜快速倾仰30
    放大倍数 16~100X/20~4000X
    镜头规格 目镜:10X;物镜:5X,10X,20X,50X,100X(选配)
    CCD像素 50W(模拟)/200W(数字)/500W(数字)
    点针规格 X-Y-Z行程 12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm
    机械精度 10微米/2微米/0.7微米/0.1微米
    漏电精度 10pA/100fA (配置屏蔽箱时)
    接口形式 香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴接口
    应用方向 芯片及LD/LED/PD测试,PCB/封装器件测试,射频测试等。
    可选附件 显微镜倾仰装置(倾仰30度) 高低温样品台 光强/波长测试选件
    显微镜气动升降装置 屏蔽箱 射频测试附件
    激光微加工 转接头 有源探头
    探针卡夹具 防震台 低电流/电容测试
    显微镜暗场/DIC/Normarski 检测光强/波长测试接口部件 镀金卡盘 兼容积分球测试选件
    液晶漏电分析套装 同轴叁轴卡盘 光纤夹具耦合测试选件
    高压/大电流测试套件 样品台快速升降,微调升降装置选件 PCB/封装夹具测试选件
    加热台 样品台旋转微调选件 特殊定制
    特点 1.显微镜龙门柱式设计,可使显微镜在平面内移动。
    2.显微镜可倾仰或气动升降,便于更换物镜。
    3.可升级做射频,大电流方面的测试和激光修复应用。
    4.同轴驱动卡盘,移动精度高。
    特点
    紧凑的结构 同轴丝杠传动结构,线性移动
    实惠的价格 无回程差设计
    兼容高倍率金相显微镜,可微调移动 1微米以上电极/PAD测试
    高等院校/研究所/公司实验室使用 LD/LED/PD的光强/波长测试
    最大可用于12英寸以内样品测试 材料/器件的IV/CV特性测试
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