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    国产化半自动探针台能达到的精度是多少?

    发布时间:2021-09-01来源: semishare

          据SEMI数据统计,2020年及2021 年,全球半导体测试设备市场规模或将分别达到52.2亿美元及56.1亿美元。随着国内半导体技术的发展,多个晶圆厂及实验室的建立,国内探针台市场规模2019年约为10.25亿元,2022年将增长到15.69亿元。

          随着半导体行业的迅速发展,半导体产品的加工面积成倍缩小,复杂程度与日俱增,生产半导体产品所需的制造设备需要综合运用机械、光学、物理、化学等学科技术,具有技术壁垒高、制造难度大及研发投入高等特点。探针台属于重要的半导体测试装备,在整个半导体产业的多个环节起着重要作用,是晶圆厂和元器件封测企业的重要设备之一。随着自动化技术的飞速发展,市场对自动化探针台需求旺盛。自动化探针台搭配测试机能够对出厂晶圆片的电气参数、光学参数进行测试,根据测试结果评定上一道工序的工艺质量,并指导下一道工序。

          从全球市场看,半导体探针台设备行业集中度较高,目前主要由国外厂商主导,行业呈现较高垄断的竞争格局。鉴于自动化探针台是光、机、电高度一体化的产品,国内在这一方向研究几乎为零,市场主要被一些国外的大公司垄断。SEMISHARE2017年投产X系列半自动探针台并成功推向市场,成功填补国内该研发生产领域的空白。

          SEMISHARE(深圳市森美协尔科技有限公司)研发的X系列半自动探针台是高精度探针台并已成功实现量产和获得国内龙头企业批量订单。其技术指标可以达到国际领先水平,部分参数甚至优于国际一线品牌,深圳市计量质量检测研究院日前已对半自动晶圆探针台X系列完成检测并出具相应检测报告。

    01

    X系列探针台Chuck X Y Z Theta四轴

    1、基板采用铸件为基准进行设计,使运动的稳定性得到提升,底板的重量同样在隔震性能上得到提高。

    2、运动系统采用的是日系高刚性、高精密的导轨和丝杆;反馈检测系统采用的是0.1μm分辨率光栅尺配合进口运动控制卡与电机形成整个闭环的反馈检测,以保证实现高精度高温度性的运动系统。

    3、整个四维运动设计成低重心的紧凑结构,保证其速率能到达70mm/s,并能提高运动过程中的加速。

    4、关键零件用导电的表面处理,保证每个位置能进行接地保护。

    02

    高性能密闭微暗室有效屏蔽EMI

    腔体采用导电的处理工艺,确保了各零件之间的导通状态从而达到全屏蔽的效果,降低系统噪声,有效屏蔽外界干扰,并提供低漏电流保护,为微弱电信号测试提供了最佳的测试环境;同时也注意零件配合以及装配的同时,保证内部的密封性。对于一些特殊的器件/晶圆需要在高低温的情况进行环境的模拟测试,有效地避免了空气中的水分在样品上结露或者结霜的存在,通过气流的特性,填充满密封腔体内,使腔体里内的气体露点进行降低直至到一定的露点。

    03

    行业领先的3ZOOM™成像技术

    内置SEMISHARE专利显微镜3 ZOOM多视野、三倍率同焦光路系统,光学120X–2000X变倍放大,大小多视场同时显示,可使点针便捷操作,实现高稳定性、高清晰度的精准定位图像输出和高精度的测量和动态监控。

    04

    自主研发软件集成系统,兼容性更强

    ●支持半自动控制(可手动测试、自动测试)

    ●自动Wafer校准、自动Wafer mapping、自动Die size测量、自动Align、自动测试数据可远程访问

    ●一键自动校准RF探针模块,自动清针功能

    ●一键式自适应四轴Chuck精度校准,支持微米级Pad点测

    ●可支持单点测试或连续测试

    ● 强大的数据储存能力以及数据处理能力

    ●可对测试结果进行BIN值划分,判断器件NG

    ●多系统集成功能,可独立升级操作系统、应用系统和器件测试系统

    05

    营销网络覆盖全国,快速响应客户需求

    SEMISHARE先后在深圳、香港、北京、上海、西安等城市设立了营销服务网络,并通过专业FAE技术团队,7*24h响应客户。

    现场支持:

    1)深圳市内客户,售后服务人员将在4小时内赶到客户现场

    2)广东省内客户,售后服务人员将在24小时之内赶到客户现场

    3)广东省外客户,售后服务人员将在48小时之内赶到客户现场

    与跨国公司相比,SEMISHARE更具本土化企业的服务优势,能够直达终端客户。覆盖全网的技术、售后和销售团队,可负责终端客户拓展、客户培训、产品需求定制、售后维修等事宜,能够更高效地服务客户。我们关注市场,更关注每一位客户的需求,力求保障客户的时间和投入产出最大化。

    (图为客户订购半自动晶圆探针台,装机、调试、验收3天内完成)

          未来随着国内半导体产业进入密集建设期,国内企业在国家政策和市场需求推动下加大研发,我国有望加快集成电路国产化集成,逐步实现从低端向高端替代,从而减少对集成电路进口,打破国外高依赖的局面。

          SEMISHARE从创立之初,就已将“中国芯·腾飞梦-助力中国制造自主领先的芯片,推动全球半导体行业的整体发展”作为使命,根植于企业的DNA,坚持自主技术的研发创新,旨在促进半导体测试设备国产化的发展。未来将不忘初心,奋力前行,半导体国产化不再是理想化的构想,而是我们这代人可以预见的未来!

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